Å×¹âµæ
ËùÊô·ÖÀࣺ CMPÔì³Ì×ÊÁÏ
²úÆ·ÏêÇé
| ²úƷϵÁÐ | ²úÆ·½éÉÜ |
| ¾§Ô²Å×¹âÓ²µæ | Å×¹âÓ²µæÊÇ»¯Ñ§»úеÅ׹⣨CMP£©¹¤ÒÕÖ÷ÌâºÄ²Ä£¬Æäͨ¹ý»úеĦ²ÁÓ뻯ѧÇÖÊ´Ðͬ×÷Óã¬È¥³ý¾§Ô²±í±í×ÊÁϲ¢ÊµÏÖÄÉÃ×¼¶Æ½Ì¹¶È¡£ |
| ´ó¹èƬÅ×¹âµæ/¾§Ô²Å×¹âÈíµæ | Å×¹âÈíµæÊÇ»¯Ñ§»úеÅ׹⣨CMP£©¹¤ÒÕÖ÷ÌâºÄ²Ä£¬ÖØÒªÓÃÓÚ¾«Å׺ÍÖÕ·Å׹⣻Ïà½ÏÓÚÓ²µæ£¬ÈíµæÓµÓиüºÃµÄ±í±íÊÊÓ¦ÐÔ£¬ÄÜÏ÷¼õ»®ºÛ²¢Ìá¸ß¹â½à¶È¡£ |
| µÚÈý´ú°ëµ¼ÌåÅ×¹âµæ | µÚÈý´ú°ëµ¼ÌåÅ×¹âµæÊÇ»¯Ñ§»úеÅ׹⣨CMP£©¹¤ÒÕÖ÷ÌâºÄ²Ä£¬Í¨¹ý»¯Ñ§ÇÖÊ´Óë»úеÑÐÄ¥µÄÐͬ×÷Óã¬È¥³ý¾§Ô²±í±í×ÊÁϲ¢ÊµÏÖÄÉÃ×¼¶Æ½Ì¹¶È¡£ÓÉÓÚSiCºÍGaNÓ²¶È¸ß£¨SiCĪÊÏÓ²¶È´ï9.5£©£¬´«Í³Å×¹âµæÄÑÒÔÂú×ãÐèÒª£¬Òò¶øÑ¡È¡ÌØÊâ×ÊÁϺͽṹÉè¼Æ£¬ÒÔÆ½ºâÓ²¶Å×ëÈáÈÍÐÔ£¬Ï÷¼õ±í±íȱµã¡£ |
¹Ø¼ü´Ê£ºÅ×¹âµæ
ÉÏÒ»Ìõ£º ûÓÐÁË£¡
ÏÂÒ»Ìõ£º Å×¹âÒº
Å×¹âµæ
Å×¹âµæÊǺá¿ç¸ß·Ö×Ó»¯Ñ§¡¢¸ß·Ö×ÓÎïÀí¡¢ÓлúºÏ³É¡¢ÒºÌåÁ¦Ñ§¡¢Ä¦²Áѧ¡¢¾«Ãܼӹ¤µÈ¶àѧ¿ÆÁìÓòµÄ¼¼ÊõÃܼ¯ÐͲúÆ·¡£
ÓйزúÆ·
¼¯³Éµç·×ÊÁÏ
CMPÔì³Ì×ÊÁÏ
-
Å×¹âµæ
Å×¹âµæÊǺá¿ç¸ß·Ö×Ó»¯Ñ§¡¢¸ß·Ö×ÓÎïÀí¡¢ÓлúºÏ³É¡¢ÒºÌåÁ¦Ñ§¡¢Ä¦²Áѧ¡¢¾«Ãܼӹ¤µÈ¶àѧ¿ÆÁìÓòµÄ¼¼ÊõÃܼ¯ÐͲúÆ·¡£
-
Å×¹âÒº
Å×¹âÒºÊÇÒ»ÖÖ¿ÅÁ£É¢²¼ÔÈÉ¢µÄ½ºÌå,¿Éʹ¹èƬ±í±í²úÉúÒ»²ãÑõ»¯Ä¤,ÔÙÓÉÅ×¹âÒºÖÐÄ¥Á£½«ÆäÈ¥³ý,´ïµ½Å×¹âÖ÷ÕÅ¡£Í¨³£Å×¹âÒºµÄÁ÷¿ì¡¢Õ³¶È¡¢Î¶ȡ¢³É·Ö¡¢pHÖµµÈ³ÇÊжÔÈ¥³ý³ÉЧÓÐÓ°Ïì¡£
-
Ï´åªÒº
ÖØÒªÓÃÓÚÈ¥³ý²ÐÁôÔÚ¾§Ô²±í±íµÄ΢³¾¿ÅÁ£¡¢ÓлúÎï¡¢ÎÞ»úÎï¡¢½ðÊôÀë×Ó¡¢Ñõ»¯ÎïµÈÔÓÖÊ,Âú×㼯³Éµç·Ôì×÷¶ÔÇå½à¶ÈµÄ¼«¸ßÒªÇó,¶Ô¾§Ô²³ö²úµÄÁ¼ÂÊÆðµ½Á˳ÁÒªµÄ×÷Óá£
°ëµ¼ÌåÏȽø·â×°
-
·â×°¹â¿Ì½º
ghiÏßÆØ¹â£»<br> ·Ö±æÂÊ5¦Ìm~10¦Ìm£»<br> ¸²¸Ç¸ß/µÍι̻¯PSPI£»<br> Ĥºñ5¦Ìm~15¦Ìm£»<br> ¹Ì»¯Î¶È200¡æ~400¡æ£»<br> ¾ß±¸ÓÅÒìµÄµçѧ¡¢Á¦Ñ§»úÄܺÍCu¸½×ÅÁ¦
-
һʱ¼üºÏ½º
³£Î¡¢µÍѹÁ¦¼üºÏ£»<br> ¼«Ç¿µÄÄ͸ßÎÂÄÜÁ¦£»<br> 300¡æ³Ö¾ÃÄÍΣ¾1.5h£»<br> ¿É»úе¡¢¼¤¹â½â¼üºÏ£¨248nm/308nm/355nm£©
-
¾§Ô²¼¶¾øÔµ¶Û»¯²ã×ÊÁÏ
¾§Ô²¼¶¶Û»¯²ãPI/PSPI£¬ÊÇÔÚ¾§Ô²¼¶·â×°(WLP)¹¤ÒÕÖÐÀûÓõĹؼü×ÊÁÏ¡£Í¨¹ýÐýÍ¿¡¢ÆØÏÊÃ÷Ó°ÐγÉͼÐλ¯±£»¤²ã¡£¾¸ßι̻¯ºó£¬ÎªÐ¾Æ¬±í±íÌṩÓÅÒìµÄ¶Û»¯±£»¤ºÍÓ¦Á¦»º³å£¬ÓÐЧÌá¸ßÆ÷¼þ¿¿µÃסÐÔ¡£
°ëµ¼ÌåÏÔʾ×ÊÁÏ
OLED
-
YPI
Õ³¶È4000cP~7000cP£»<br> ¹Ìº¬Á¿10%~20%£»<br> Ĥºñ5¦Ìm~15¦Ìm¹Ì»¯Î¶È450¡æ~480¡æ£»<br> 1%ʧ³Áζȣ¾560¡æ£»<br> ¾ß±¸ÓÅÒìµÄÁ¦Ñ§¹âѧ»úÄÜ
-
PSPI
ghiÏßÆØ¹â£»<br> ·Ö±æÂÊ2¦Ìm~3¦Ìm£»<br> ¸²¸Ç¸ß/µÍ¸Ð¹â¶ÈPSPI£»<br> Ĥºñ1¦Ìm~5¦Ìm£»<br> ¹Ì»¯Î¶È250¡æ~280¡æ£»<br> ¾ß±¸ÓÅÒìµÄ¹âѧ¡¢Á¦Ñ§»úÄÜ
-
TFE INK
Õ³¶È20cP~22cP£»<br> Ë®·Ö£¼50ppm£»<br> 395nmUV¹Ì»¯£»<br> Ĥºñ6¦Ìm~15¦Ìm£»<br> ¾ß±¸ÓÅÒìµÄ¹âѧ»úÄÜ
-
BPDL
·Ö±æÂÊ5¦Ìm£»<br> Á£¾¶50~70nm£»<br> ¹Ì»¯Î¶È250¡æ~280¡æ£»<br> Ĥºñ1¦Ìm~5¦Ìm£»<br> OD£¨¹âÃܶȣ©£¾1/¦Ìm
-
ÎÞ·úPSPI
ghiÏßÆØ¹â£»<br> ·Ö±æÂÊ2¦Ìm~3¦Ìm£»<br> ¸²¸Ç¸ß/µÍ¸Ð¹â¶ÈPFAS free PSPI£»<br> Ĥºñ1¦Ìm~5¦Ìm£»<br> ¹Ì»¯Î¶È250¡æ~280¡æ£»<br> ¾ß±¸ÓÅÒìµÄ¹âѧ¡¢Á¦Ñ§»úÄÜ